Physical characteristic of room-temperature deposited Ti thin films by RF magnetron sputtering at different RF power

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标题	Physical characteristic of room-temperature deposited Ti thin films by RF magnetron sputtering at different RF power
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/6410086/6417062/06417152...
DOI	10.1109/smelec.2012.6417152 doi
其它	期刊：2012 10th IEEE International Conference on Semiconductor Electronics (ICSE) 作者：Z. Aznilinda; S. H. Herman; R. A. Bakar; M. Rusop 出版日期：2013-01-31
求助人	tango 在 2026-10-11 19:48:05 发布自黑龙江，悬赏 10 积分
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