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[求助补充材料] Computational Modeling and Optimization of Large-Area Showerhead Configurations in PECVD Reactors
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DOI
10.1109/tsm.2026.3680778 doi
其它 期刊:IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
作者:Emad Barakat; Yeonchan Kim; Joo Pyo Hong; Seungkyung Park
出版日期:2026-04-03
求助人
冷酷的小凝 在 2026-10-08 15:39:57 发布自山东,悬赏 20 积分
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