Modeling and Characterization of Annealing-Induced Cu Protrusion of TSVs With Polyimide Liner Considering Diffusion Creep Behavior

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标题	Modeling and Characterization of Annealing-Induced Cu Protrusion of TSVs With Polyimide Liner Considering Diffusion Creep Behavior
网址	https://doi.org/10.1109/ted.2022.3228975
DOI	10.1109/ted.2022.3228975 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Baoyan Yang; Yingtao Ding; Zhiqiang Cheng; Anrun Ren; Lei Xiao; et al 出版日期：2022-12-20
求助人	坚强长颈鹿在 2026-10-10 10:23:14 发布自河北，悬赏 10 积分
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