Diffusion of acid and amine at resist/BARC interface

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标题	Diffusion of acid and amine at resist/BARC interface 抗蚀剂/BARC界面上酸和胺的扩散相关领域抵抗材料科学图层（电子）扩散光刻胶涂层纳米技术热力学物理
网址	https://doi.org/10.1117/12.813379
DOI	10.1117/12.813379 doi
其它	期刊：Proceedings of SPIE, the International Society for Optical Engineering/Proceedings of SPIE 作者：Masamitsu Shirai; Noriaki Majima; Hitoshi Okamura; Yoshiomi Hiroi; Shigeo Kimura; et al 出版日期：2009-03-13
求助人	笨笨行云在 2024-04-11 16:22:57 发布自四川，悬赏 20 积分
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