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 Embedded SAW sensors based on ZnO/Pt/SiO2/Si structure for temperature measurement |
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期刊：Sensors and Actuators A: Physical 作者：Tong Tong; Chunlong Cheng; Yanxin Liu; Cai Luo; Tianyao Luo; et al 出版日期：2026-03-03 |
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