Forced flow atomic layer deposition of TiO2 on vertically aligned Si wafer and polysulfone fiber: Design and efficacy of conduit plates and soak function

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标题	Forced flow atomic layer deposition of TiO2 on vertically aligned Si wafer and polysulfone fiber: Design and efficacy of conduit plates and soak function
网址	https://pubs.aip.org/aip/rsi/article-pdf/doi/10.1063/1.50434...
DOI	10.1063/1.5043476 doi
其它	期刊：Review of Scientific Instruments 作者：Mrinalini Mishra; Chia-Yen Chan; Chi-Chung Kei; Yin-Cheng Yen; Ming-Wei Liao; Tsong-Pyng Perng 出版日期：2018-10-13
求助人	cobo 在 2026-04-26 16:09:13 发布自湖北，悬赏 10 积分
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