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 Fabrication of highly conductive phosphorous-doped nc-SiCx:H thin film on PET 相关领域
材料科学
薄膜
兴奋剂
等离子体增强化学气相沉积
聚对苯二甲酸乙二醇酯
基质（水族馆）
纳米晶材料
制作
化学气相沉积
沉积（地质）
化学工程
导电体
电阻率和电导率
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纳米技术
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期刊：Physica Scripta 作者：Jia Liu; Ruirui Sun; Chunjuan Tang; Longgang Wang; Chuanwei Liu; et al 出版日期：2023-12-27 |
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