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标题
Dilute aqueous base developable resists for environmentally friendly and biocompatible processes
用于环境友好和生物相容工艺的稀水基可显影抗蚀剂
相关领域
光刻胶 抵抗 平版印刷术 丙烯酸酯 环境友好型 共聚物 生物相容性材料 水溶液 材料科学 生物分子 聚合物 纳米技术 水介质 化学工程 高分子化学 化学 有机化学 复合材料 光电子学 图层(电子) 医学 生态学 工程类 生物医学工程 生物
网址
DOI
10.1016/s0167-9317(02)00451-3 doi
其它 期刊:Microelectronic Engineering
作者:Constantinos D. Diakoumakos; Antonios M. Douvas; I. Raptis; Sotirios Kakabakos; Dimitra Dimotikalli; et al
出版日期:2002-07-01
求助人
饭饭 在 2025-09-06 10:52:13 发布自湖南,悬赏 10 积分
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