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Dilute aqueous base developable resists for environmentally friendly and biocompatible processes 用于环境友好和生物相容工艺的稀水基可显影抗蚀剂
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期刊:Microelectronic Engineering 作者:Constantinos D. Diakoumakos; Antonios M. Douvas; I. Raptis; Sotirios Kakabakos; Dimitra Dimotikalli; et al 出版日期:2002-07-01 |
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