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作者
Constantinos D. Diakoumakos,
Antonios M. Douvas,
I. Raptis,
Sotirios Kakabakos,
Dimitra Dimotikalli,
Georgia I. Terzoudi,
Panagiotis Argitis
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2002-07-01
卷期号：61-62: 819-827
被引量：18
标识
DOI：10.1016/s0167-9317(02)00451-3
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