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 Preparation of epitaxial YSZ thin film on Si(001) using metal and oxide targets by RF-magnetron sputtering 射频磁控溅射在Si（001）上用金属和氧化物靶外延制备YSZ薄膜
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期刊：Ferroelectrics 作者：Nobuyasu Mizutani; Naoki Wakiya; Makoto Yoshida Kenichi Hijikata; Kazuo Shinozaki 出版日期：2001-01-01 |
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