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标题
Review of the key milestones in the development of critical dimension small angle x-ray scattering at National Institute of Standards and Technology
美国国家标准与技术研究所发展临界维小角x射线散射的重要里程碑
相关领域
维数(图论) 钥匙(锁) 开发(拓扑) 图书馆学 政治学 计算机科学 数学 计算机安全 数学分析 纯数学
网址
DOI
10.1117/1.jmm.22.3.031206 doi
其它 期刊:Journal of micro/nanopatterning, materials, and metrology
作者:Wen‐Li Wu; R. Joseph Kline; Ronald L. Jones; Hae‐Jeong Lee; Eric K. Lin; et al
出版日期:2023-04-03
求助人
晴y 在 2025-11-01 14:11:46 发布自上海,悬赏 20 积分
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