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Adherent amorphous hydrogenated carbon films on metals deposited by plasma enhanced chemical vapor deposition
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DOI
10.1016/j.tsf.2007.08.007 doi
其它 期刊:Thin Solid Films
作者:G. Capote; L.F. Bonetti; Lúcia Vieira; V.J. Trava-Airoldi; E.J. Corat
出版日期:2007-08-14
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