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 Atomistic study of capturing mechanism for defects of anti-reflective coating by polymer membranes 聚合物膜对减反射涂层缺陷捕获机理的原子研究
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期刊：Computational Materials Science 作者：Albert M Iskandarov; Naohiko Ikuma; Masashi Hosoya; Tomomi Shimazaki; Kazuhiro Misumi; et al 出版日期：2025-07-28 |
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