Characterization of magnesium oxide gate insulators grown using RF sputtering for ZnO thin-film transistors - 科研通

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标题	Characterization of magnesium oxide gate insulators grown using RF sputtering for ZnO thin-film transistors 相关领域材料科学薄膜晶体管溅射溅射沉积电介质光电子学晶体管基质（水族馆）图层（电子）氧化物薄膜晶体管栅极电介质镁高-κ电介质绝缘体上的硅薄膜氧气硅绝缘体（电）沉积（地质）分析化学（期刊）等效氧化层厚度氧化物栅氧化层腔磁控管溶解过程电子迁移率氟化镁氧气压力
网址	https://doi.org/10.1016/j.cap.2014.03.017
DOI	10.1016/j.cap.2014.03.017 doi
其它	期刊：Current Applied Physics 作者：Jong‐Hoon Lee; Hong Seung Kim; Sang Hyun Kim; Nak Won Jang; Young Yun 出版日期：2014-03-28
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