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Characterization of magnesium oxide gate insulators grown using RF sputtering for ZnO thin-film transistors

材料科学 薄膜晶体管 溅射 溅射沉积 电介质 光电子学 晶体管 基质（水族馆） 图层（电子） 氧化物薄膜晶体管 栅极电介质 镁 高-κ电介质 绝缘体上的硅 薄膜 氧气 硅 绝缘体（电） 沉积（地质） 分析化学（期刊） 等效氧化层厚度 氧化物 栅氧化层 腔磁控管 溶解过程 电子迁移率 氟化镁 氧气压力
作者
Jong‐Hoon Lee,Hong Seung Kim,Sang Hyun Kim,Nak Won Jang,Young Yun
出处
期刊：Current Applied Physics [Elsevier BV]
日期：2014-03-28 卷期号：14 (5): 794-797 被引量：17
标识
DOI：10.1016/j.cap.2014.03.017
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