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 Improved electrical contact property of Si-doped GaN thin films deposited by PEALD with various growth cycle ratio of SiNx and GaN 不同生长周期比SiNx和GaN对PEALD沉积掺Si GaN薄膜电接触性能的改善
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期刊：Surfaces and Interfaces 作者：Zhi-Xuan Zhang; Shi-Cong Jiang; Wan-Yu Wu; Peng Gao; Linqin Jiang; et al 出版日期：2023-08-15 |
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