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 Synthesis of Aminosilane Chemical Vapor Deposition Precursors and Polycarbosilazanes through Manganese-Catalyzed Si–N Dehydrocoupling 锰催化Si-N脱氢偶联合成氨基硅烷化学气相沉积前驱体及聚碳硅氮杂
相关领域
催化作用
锰
化学气相沉积
硅烷
复分解
单体
卤素
有机化学
化学
氢化物
无机化学
高分子化学
聚合
聚合物
氢
烷基
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| 网址 | |
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| 其它 |
期刊：ACS Sustainable Chemistry & Engineering 作者：Thao T. Nguyen; Tufan K. Mukhopadhyay; Samantha N. MacMillan; Michael T. Janicke; Ryan J. Trovitch 出版日期：2022-03-21 |
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