板式PECVD-SiNxHy成膜工艺的COMSOL仿真和优化 - 科研通

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标题	[高分] 学位论文板式PECVD-SiNxHy成膜工艺的COMSOL仿真和优化
网址	https://max.book118.com/html/2024/1103/6201133113010241.shtm
DOI	暂未提供，该求助的时间将会延长，查看原因？
其它	中南大学的硕士论文
求助人	ALIVE_STAR 在 2025-12-15 18:56:20 发布自广东，悬赏 100 积分
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