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 Low temperature deposition of polycrystalline silicon thin films on a flexible polymer substrate by hot wire chemical vapor deposition 热丝化学气相沉积法在柔性聚合物衬底上低温沉积多晶硅薄膜
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期刊：Journal of Crystal Growth 作者：Sang‐Hoon Lee; Jae-Soo Jung; Sung‐soo Lee; Sung Bo Lee; Nong‐Moon Hwang 出版日期：2016-08-17 |
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