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标题
Characterization of GaN structures for power electronics by secondary ion mass spectrometry and atomic force microscope approach
二次离子质谱和原子力显微镜表征功率电子器件用GaN结构
相关领域
二次离子质谱法 材料科学 分析化学（期刊） 溅射 光电子学 氮化镓 图层（电子） 表征（材料科学） 半导体 镓 表面粗糙度 质谱法 纳米技术 化学 薄膜 复合材料 冶金 色谱法
网址
http://dx.doi.org/10.1116/6.0002573
AI链接 cnrs.hal.sciencedoi.org
DOI
10.1116/6.0002573 doi
其它 期刊：Journal of Vacuum Science & Technology B Nanotechnology and Microelectronics Materials Processing Measurement and Phenomena
作者：Tarek Spelta; M. Veillerot; E. Martínez; Nicolas Chevalier; D. Mariolle; et al
出版日期：2023-04-19
求助人
春晓 在 2025-12-22 21:11:51 发布自浙江，悬赏 10 积分
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  • 6个月前

    春晓 春晓 Lv4 求助人 发起了本次求助

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