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 Investigating different carbon-based target materials: Can we improve ionization in HiPIMS for the deposition of diamondlike carbon films? 相关领域
高功率脉冲磁控溅射
材料科学
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溅射
化学
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Martin Fenker; Martin Balzer; Holger Kaßner 出版日期：2024-05-06 |
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yuncong323
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