Stress analysis and characterization of TEOS-based PECVD fabricated SiO2 solid films after thermal annealing - 科研通

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标题	Stress analysis and characterization of TEOS-based PECVD fabricated SiO2 solid films after thermal annealing TEOS基PECVD制备SiO2固体薄膜热退火后的应力分析与表征
网址	http://dx.doi.org/10.1088/1361-6641/ae0516
DOI	10.1088/1361-6641/ae0516 doi
求助人	已黑化发文儿可洗白在 2025-12-03 15:25:37 发布自天津，悬赏 10 积分
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