High-κ dielectric van der Waals integration on 2D semiconductors for three-dimensional complementary logic systems

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标题	High-κ dielectric van der Waals integration on 2D semiconductors for three-dimensional complementary logic systems 三维互补逻辑系统二维半导体上的高κ介电范德华积分
网址	https://www.nature.com/articles/s41467-025-66770-0.pdf
DOI	10.1038/s41467-025-66770-0 doi
其它	期刊：Nature Communications 作者：Taeho Kang; Joonho Park; Seung Yong Lee; Hanggyo Jung; Jongwook Jeon; et al 出版日期：2025-11-26
求助人	wqy 在 2025-11-27 09:38:43 发布自上海，悬赏 10 积分
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