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标题
Uniform Al0.87Sc0.13N Thin Film Deposition at Wafer Scale through Magnetron Sputtering
网址
https://pubs.acs.org/doi/pdf/10.1021/acs.cgd.5c00401
DOI
10.1021/acs.cgd.5c00401 doi
其它 期刊：Crystal Growth & Design
作者：Mei Wang; Xinhang Wang; Jun Gao; Zhengwang Cheng; Shengjia Li; et al
出版日期：2025-08-29
求助人
aa 在 2026-02-13 22:27:11 发布自辽宁，悬赏 10 积分
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