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  The Combined Spectral Response of a MEMS Metamaterial Absorber for the Mid-IR and Its Sub-Wavelength Fabrication Residual Array of Holes 中红外MEMS超材料吸收器的组合光谱响应及其亚波长制造剩余孔阵列
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材料科学
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期刊：Materials 作者：R.F. Wolffenbuttel; M. Ghaderi 出版日期：2023-06-09 |
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