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标题
Purification techniques and analytical methods for gaseous and metallic impurities in high-purity silane
高纯硅烷中气体和金属杂质的净化技术和分析方法
相关领域
杂质 硅烷 硅 材料科学 半导体 金属 电阻率和电导率 纳米技术 光电子学 工艺工程 冶金 化学 电气工程 复合材料 有机化学 工程类
网址
https://doi.org/10.1016/0022-0248(88)90068-1
DOI
10.1016/0022-0248(88)90068-1 doi
其它 期刊：Journal of Crystal Growth
作者：Patrick Taylor
出版日期：1988-06-01
求助人
伶俐长颈鹿 在 2025-06-08 15:59:06 发布自安徽，悬赏 10 积分
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