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 Determining role of W+ ions in the densification of TiAlWN thin films grown by hybrid HiPIMS/DCMS technique with no external heating W+离子在无外加热HiPIMS/DCMS混合技术生长TiAlWN薄膜致密化中的作用
相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：X.G. Li; I. Petrov; Lars Hultman; Grzegorz Greczyński 出版日期：2022-12-30 |
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Zach
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