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标题
DC vacuum arc deposition system with an anode generating magnetic field for preparation of TiN films
阳极产生磁场的直流真空电弧沉积系统制备TiN薄膜
相关领域
阳极 真空电弧 沉积(地质) 材料科学 磁场 阴极保护 阴极电弧沉积 弧(几何) 薄膜 光电子学 复合材料 纳米技术 冶金 电极 化学 阴极 物理 机械工程 古生物学 物理化学 工程类 生物 量子力学 沉积物
网址
DOI
10.35848/1347-4065/acd068 doi
其它 期刊:Japanese Journal of Applied Physics
作者:Jumpei Kito; Yoshinori Saiki; Kento Homma; Seiya Watanabe; T. Bando; et al
出版日期:2023-04-26
求助人
waingfory 在 2025-06-09 22:47:57 发布,悬赏 10 积分
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