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  DC vacuum arc deposition system with an anode generating magnetic field for preparation of TiN films 阳极产生磁场的直流真空电弧沉积系统制备TiN薄膜
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期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Jumpei Kito; Yoshinori Saiki; Kento Homma; Seiya Watanabe; T. Bando; et al 出版日期：2023-04-26 |
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waingfory
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(2025-6-4)
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