DC vacuum arc deposition system with an anode generating magnetic field for preparation of TiN films

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标题	DC vacuum arc deposition system with an anode generating magnetic field for preparation of TiN films 阳极产生磁场的直流真空电弧沉积系统制备TiN薄膜相关领域阳极真空电弧锡沉积（地质）材料科学磁场阴极保护阴极电弧沉积弧（几何）薄膜光电子学复合材料纳米技术冶金电极化学阴极物理机械工程古生物学物理化学工程类生物量子力学沉积物
网址	https://doi.org/10.35848/1347-4065/acd068 AI链接 iop.orgdoi.org
DOI	10.35848/1347-4065/acd068 doi
其它	期刊：Japanese Journal of Applied Physics 作者：Jumpei Kito; Yoshinori Saiki; Kento Homma; Seiya Watanabe; T. Bando; et al 出版日期：2023-04-26
求助人	waingfory 在 2025-06-09 22:47:57 发布，悬赏 10 积分
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