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 Improved Thermal Stability and Oxygen‐Barrier Performance of SiO2 Thin Films by Modifying Amorphous Network Structure 改性非晶网络结构提高SiO2薄膜的热稳定性和阻氧性能
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期刊：physica status solidi (RRL) - Rapid Research Letters 作者：Hui Xiong; Yang Deng; Zhilin Chen; Yuxin Jiang; Junhua Gao; et al 出版日期：2024-04-26 |
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