Hyper NA: a system with a numerical aperture of at least 0.75 - 科研通

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标题	Hyper NA: a system with a numerical aperture of at least 0.75
网址	http://dx.doi.org/10.1117/1.jmm.25.4.041807
DOI	10.1117/1.jmm.25.4.041807 doi
其它	期刊：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology 作者：Michael Patra; Heiko Feldmann; Gerardo Bottiglieri 出版日期：2026-10-01
求助人	火火在 2026-10-13 19:00:30 发布自福建，悬赏 20 积分
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