Performance Enhancement of a-IGZO TFTs With Elevated Source/Drain Structure via Channel Trench Etching

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标题	Performance Enhancement of a-IGZO TFTs With Elevated Source/Drain Structure via Channel Trench Etching 相关领域材料科学性能增强蚀刻（微加工）光电子学沟槽频道（广播）绩效改进电子工程逻辑门硅干法蚀刻
网址	http://dx.doi.org/10.1109/ted.2026.3731249
DOI	10.1109/ted.2026.3731249 doi
其它	期刊：IEEE Transactions on Electron Devices 作者：Hongseung Lee; Jaewook Yoo; Seongbin Lim; Sojin Jung; Minah Park; et al 出版日期：2026-01-01
求助人	evens 在 2026-09-29 10:11:01 发布自湖南，悬赏 10 积分
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