Sensor location, identification, and multivariable iterative learning control of an RTP process for maximum uniformity of wafer temperature distribution

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标题	Sensor location, identification, and multivariable iterative learning control of an RTP process for maximum uniformity of wafer temperature distribution
网址	http://xplorestaging.ieee.org/ielx5/8835/27963/01249145.pdf?...
DOI	10.1109/rtp.2003.1249145 doi
其它	期刊：11th IEEE International Conference on Advanced Thermal Processing of Semiconductors. RTP 2003 作者：M. Cho; Y. Lee; S. Joo; K.S. Lee 出版日期：2004-03-22
求助人	柔弱的天蓝在 2026-10-07 00:02:42 发布自美国，悬赏 10 积分
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