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High aspect ratio processing of high CTE glass using KrF excimer laser |
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10.1117/12.3089117
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期刊:Novel Patterning Technologies 2026 作者:Daisuke Momiyama; Akira Suwa; Tomonari Tanaka; Michiaki Nemoto; Yasufumi Kawasuji 出版日期:2026-02-21 |
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(2025-6-4)