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 Deposition and structural investigation of uniform AlN(100) films at wafer scale through RF magnetron sputtering 射频磁控溅射制备晶圆级均匀AlN（100）薄膜及结构研究
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期刊：Ceramics International 作者：Zhengwang Cheng; Xinhang Wang; Jun Gao; Mei Wang; Aobo Wang; et al 出版日期：2024-05-11 |
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