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 Aging behavior of perfluorinated elastomer (FFKM) in the SC1 solution used in the semiconductor wet etching process 全氟弹性体（FFKM）在半导体湿法刻蚀SC1溶液中的老化行为
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期刊：Polymer Degradation and Stability 作者：Qishan Chen; Fandi Meng; Tao Zhang; Li Liu 出版日期：2025-05-01 |
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