Research on efficient and stable control of EUV-induced hydrogen plasma

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标题	Research on efficient and stable control of EUV-induced hydrogen plasma 相关领域极紫外光刻等离子体原子物理学极端紫外线电场电离电子光离子化物理离子光学激光器量子力学
网址	https://doi.org/10.1063/5.0088669
DOI	10.1063/5.0088669 doi
其它	期刊：Journal of Applied Physics 作者：Qijun Mao; Xuepeng Gong; Qipeng Lü; Yuan Song; Dazhuang Wang; et al 出版日期：2022-06-16
求助人	joiawhrfoiwea 在 2025-10-01 18:40:17 发布自北京，悬赏 10 积分
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