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 Dynamics of plasma atomic layer etching: Molecular dynamics simulations and optical emission spectroscopy 等离子体原子层刻蚀动力学：分子动力学模拟和发射光谱
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期刊：Journal of vacuum science & technology 作者：Joseph R. Vella; Qinzhen Hao; Vincent M. Donnelly; David B. Graves 出版日期：2023-11-13 |
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