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Depth-distribution of resistivity within ion-irradiated semiconductor layers revealed by low-kV scanning electron microscopy 低kV扫描电子显微镜揭示离子辐照半导体层内电阻率的深度分布
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期刊:Materials Science in Semiconductor Processing 作者:I. Jóźwik; J. Jagielski; P. Ciepielewski; E. Dumiszewska; Karolina Piętak; et al 出版日期:2023-06-07 |
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