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标题
Advancements and challenges in inverse lithography technology: a review of artificial intelligence-based approaches
逆光刻技术的进展与挑战:基于人工智能的方法综述
相关领域
计算机科学 深度学习 平版印刷术 人工智能 利用 卷积神经网络 生成语法 人工神经网络 新兴技术 材料科学 计算机安全 光电子学
网址
DOI
10.1038/s41377-025-01923-w doi
其它 期刊:Light: Science & Applications
作者:Yixin Yang; Kexuan Liu; Yunhui Gao; Chen Wang; Liangcai Cao
出版日期:2025-07-24
求助人
俭朴映阳 在 2025-11-14 16:43:09 发布自广东,悬赏 10 积分
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