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标题
Transmission electron microscopy study of the failure mechanism of the diffusion barriers (TiN and TaN) between Al and Cu
网址
http://dx.doi.org/10.1007/s12540-017-6341-5
DOI
10.1007/s12540-017-6341-5 doi
其它 期刊：Metals and Materials International
作者：Soo-Hyun Kim
出版日期：2017-01-01
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