| 标题 |
Damage-Free Planarization of 4H-SiC (0001) by Catalyst-Referred Etching |
| 网址 | |
| DOI | |
| 其它 |
期刊:Materials Science Forum 作者:Hideyuki Hara; Yasuhisa Sano; Hidekazu Mimura; Kenta Arima; Akihisa Kubota; et al 出版日期:2007-09-15 |
| 求助人 | |
| 下载 | 求助已完成,仅限求助人下载。 |
PDF的下载单位、IP信息已删除
(2025-6-4)