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标题
Reconstruction of the in-depth profile of line gratings with critical dimension grazing incidence small angle x-ray scattering on laboratory equipment
网址
http://dx.doi.org/10.1117/1.jmm.22.3.031210
DOI
10.1117/1.jmm.22.3.031210 doi
其它 期刊：Journal of Micro/Nanopatterning, Materials, and Metrology
作者：Guillaume Freychet; Guido Rademaker; Yoann Blancquaert; Patrice Gergaud
出版日期：2023-06-24
求助人
缓慢剑心 在 2026-06-29 19:43:20 发布自上海，悬赏 20 积分
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