Synergistic Optimization of Plasma Uniformity and Active Species Density in MPCVD Systems: A Study Based on Multiphysics Simulation and Response Surface Methodology

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标题	Synergistic Optimization of Plasma Uniformity and Active Species Density in MPCVD Systems: A Study Based on Multiphysics Simulation and Response Surface Methodology
网址	https://www.sciencedirect.com/science/article/pii/S0042207X2...
DOI	10.1016/j.vacuum.2026.115568 doi
其它	期刊：Vacuum 作者：Gang Yuan; Junkui Zhu; Sen Ming; G. Peng; Huanwei Duan; et al 出版日期：2026-06-01
求助人	烂漫世德在 2026-08-11 14:33:19 发布自浙江，悬赏 10 积分
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