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 Reaction Mechanism of Atomic Layer Deposition of Al on the Si (100) Surface: A Density Functional Theory Study Al在Si（100）表面原子层沉积反应机理的密度泛函理论研究
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期刊：Advanced materials research 作者：Mao Jin Dong; Ran Fang; Yu Xiong; Duo Shu Wang; Ji Zhou Wang; et al 出版日期：2014-06-01 |
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