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标题
专利、报告等 在半导体衬底表面制备锌掺杂超浅结的方法
网址
DOI
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其它 申请/专利号:
CN201310721825.8
申请日期:
2013-12-24
公开/公告号:
CN104733285A
公开/公告日:
2015-06-24
主分类号:
H01L21/02(2006.01)(专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备)
分类号:
H01L21/02(2006.01)
申请/专利权人:
中国科学院微电子研究所
发明/设计人:
孙兵刘洪刚赵威王盛凯常虎东
求助人
奔流的河 在 2025-11-23 10:57:15 发布自河北,悬赏 10 积分
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