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 Plasma enhanced atomic layer deposition of textured aluminum nitride on platinized substrates for MEMS 微机电系统用等离子体增强原子层沉积织构化氮化铝
相关领域
材料科学
纤锌矿晶体结构
原子层沉积
分析化学（期刊）
电介质
氮化物
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感应耦合等离子体
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A Vacuum Surfaces and Films 作者：Nicholas A. Strnad; Wendy L. Sarney; G. B. Rayner; Robert R. Benoit; Glen R. Fox; et al 出版日期：2022-05-16 |
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