Controlled thin-film deposition of α or β Ga2O3 by ion-beam sputtering

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标题	Controlled thin-film deposition of α or β Ga2O3 by ion-beam sputtering
网址	https://doi.org/10.1116/6.0000619
DOI	10.1116/6.0000619 doi
其它	期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：Martin Becker; Sebastian L. Benz; Limei Chen; Angelika Polity; Peter J. Klar; Sangam Chatterjee 出版日期：2020
求助人	科研小菜鸡315124 在 2026-04-30 21:40:10 发布自浙江，悬赏 10 积分
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