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Self-aligned fin cut last patterning scheme for fin arrays of 24nm pitch and beyond
24nm及以上翅片阵列的自对准翅片切割最后图案化方案
相关领域
鳍
静态随机存取存储器
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期刊: 作者:S. Baudot; A. Soussou; Alexey Milenin; T. Hopf; S. Wang; et al 出版日期:2019-03-25 |
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