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 Efficient measurement and optical proximity correction modeling to catch lithography pattern shift issues of arbitrarily distributed hole layer 捕捉任意分布空穴层光刻图案偏移问题的有效测量和光学邻近校正建模
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期刊：Frontiers of Mechanical Engineering 作者：Yaobin Feng; Jiamin Liu; Zhiyang Song; Hao Jiang; Shiyuan Liu 出版日期：2024-07-19 |
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