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 Plasma-enhanced chemical vapor deposition of boron nitride thin films from B2H6–H2–NH3 and B2H6–N2 gas mixtures 相关领域
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期刊：Journal of Vacuum Science & Technology A: Vacuum, Surfaces, and Films 作者：J. L. Andújar; E. Bertran; M. C. Polo 出版日期：2002-07-27 |
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